Klassificering ved kemisk dampaflejring
Der er mange metoder til kemisk dampaflejring, såsom atmosfæretryk CVD (APCVD), lavtryks CVD (LPCVD), ultrahøj vakuum CVD (UHVCVD), laserkemisk damp Laserdeposition (LCVD), metalorganisk kemisk dampaflejring (MOCVD) , plasmaforbedret kemisk dampaflejring (PECVD) osv.